AP 1.2 Entwicklung von Technologien zur Bauelement-Fertigung

Mikrostrukturierungsverfahren für Aktoren und Schaltkreise auswählen (Kooperation AP 1.1)
3D-Fertigungstechnologien und Integrationstechnologien von Bauelementen entwickeln
Quellfähige Polymere für datengetriebene Materialmodellierung fertigen (Kooperation mit AP 2.1)

Wissenschaftlerin & PI: Dr. Franziska Obst
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik


Micromachines 2023, 14(3), 699; https://doi.org/10.3390/mi14030699
BIOspektrum 2024, 30, 189; doi: 10.1007/s12268-024-2146-5