Kraft- und Drucksensoren
  • Ziel des Versuches ist es, einen Überblick über Aufbau und Wirkungsweise von Drucksensoren - speziell piezoresistiver Silizium-Sensoren - zu gewinnen und dabei die Möglichkeiten der Signalauswertung kennenzulernen. Besonderes Augenmerk wird auf die verschiedenen Störgrößen sowie die Möglichkeiten und Wirkungsweisen von Kompensationsmaßnahmen gelegt.

    Anleitung
Piezoresistiver Sensorchip als mechano-elektrischer Transducer